如今幾乎已普及到所有家庭個人電腦（PC）所配備硬磁盤（HDD）過去超精密機床上用單晶金剛石刀具切削加工。近年來，磁盤面記錄密度年增長率達到100％，實現了每1平方英寸達1G記錄密度。這一技術經磨削加工后鋁合金基盤上鍍上無電解NIP薄膜，再通過研磨加工使其表面平滑而得以實現。而高性能加工技術進步，也使得基盤材料從鋁合金更換為剛性比更高硅酸鋁玻璃、晶化玻璃等，因此，磨削、研磨加工重要性也更大了。

直線電機剛開始開發時，因其能實現高速加工而備受矚目。但近年來，使用直線電機目已逐漸轉向高精度化。也就說，直線電機諸多優良特性，很高定位精度圓弧插補精度尤其令人刮目相看。其原因非接觸式驅動系統沒有傳統伺服電機旋轉減速用齒輪副、滾珠絲杠、耦合件等各種機械因素引起誤差，以及直線電機必然采用閉路控制。　　

今后，高精度化加工技術發展將日益加速。精密加工，重要加工之一高精密平面加工。尤其精密測量儀器、光學儀器、硅片等超精密加工領域，要求加工出無限平滑表面。為此，機床制造商開發出了超精密平面磨床，采用獨立可變靜壓滑板技術實現高剛性加工同時，又實現了即使存偏載荷，油膜厚度也不會發生變化，磨削平面度達到lμm/m2。此外，加工表面通過拋光可以實現0.03μm/m2平面度。為了實現高精度加工，就必須克服熱變形。具體來說，需要盡可能減少來自驅動電機軸承、導向面等加工發熱。此外，為了不使加工工件發生熱變形，還需要控制加工點產生熱量來自工件表面汽化熱。為此，該超精密平面磨床配置了既恒溫又恒濕隔離罩，作為完整系統加以商品化。　　

加大砂輪進給量、降低工件進給速度間歇進給磨削技術與使用電沉積磨輪高圓周速度磨削技術相結合而形成磨削技術歐洲已經實用化了，但日本還幾乎無人采用。另一方面，減小砂輪進給量、提高工件進給速度快走刀磨削（高速往復式磨削）金屬模具加工等行業正逐漸成為成型磨削主流。這種磨削加工方法通過曲柄、液壓伺服裝置或直線電機增加單位時間工作臺往返次數（對行程較短工件也可以采用砂輪連續進給），從而可以大幅度提高加工效率，也適用于金屬模具穿孔等短行程磨削。該方法缺點工作臺反轉時高加/減速運動容易引起振動，需要設法加以抑制。為此，可以采用減輕工作臺重量、加重底盤、進行加/減速控制以及進行平衡等方法。快走刀磨床已被許多平面磨床生產廠家看好，認為可以進行商品化開發，今后將成為金屬成型磨床主流。